采用X射线聚光系统，适用于微小样品的镀层测量及RoHS分析

MAXXI6的X射线发生系统是X射线聚光系统（聚光导管）与X射线源相结合，产生束斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束，与不采用此技术时相比能得到10倍以上的强度。所以MAXXI6可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插头、柔性线路板等微小零件及薄膜进行测量。同时，采用了高计数率、高分辨率的半导体检测器（无需液氮），在测量镀膜厚度的同时，对于欧盟的RoH&ELV法规所限制的有害元素的分析测量也十分有效。